1、真空泵温度太高：被抽气体温度过高，应让气体冷却后再进入真空泵内；应通冷却水或用电风扇降温，同时检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。
2、吸入硬物使真空泵体磨损：应拆开罗茨真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换。
3、真空泵冷却水流量不够：应加大冷却水流量。
4、装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损：应拆开检查并重新装配。
5、罗茨真空泵本身漏气：泵本身密封不严，在轴封处漏气，应更换气阀片；密封圈漏气，应检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈；气镇阀垫圈损坏或未拧紧，应更换垫圈并拧紧气镇阀；真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气，应修整真空泵腔或更换；由于真空泵的端面油密封不良造成漏气，应拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。
6、转子与转子或转子与壳体的间隙过大，空气温度过高：如果是湿式泵则可在进气口处注入冷水，如果是干式泵则在出气口加冷却器，降低空气温度。
7、泵的进出口气体介质的压力差过大：如是干式泵需检查安全阀是否失灵，如失灵出气压力可能偏高，如是湿式泵则可能是出口水封压力过高或者是出口管径过小、弯头太多而增加了出口阻力所致，针对实际情况予以排除。
8、真空泵油有问题：油位过低，应加足油量到油标中心线；油被沾污，油质变坏，应更换新油；油的牌号不符，应换规定牌号的真空泵油；油路不通，罗茨真空泵腔内没有保持适当的油量，应检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通。
9、转子弹簧变形或折断及旋片动作不灵：应整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好，
10、进气口的过滤网被堵塞：应取下过滤网清洗干净，再装上去。
另外，罗茨真空泵加工不良或磨损会造成配合间隙过大，也会导致真空度不够高，此时应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。来源：http://www.sdlczkb.com